一、设备概述
1.大尺寸卷对卷曝光机用于卷材放料曝光后再收卷。
2.材料有效寬度:Max1300mm
二、设备规格以及主要技术指标
◆有效曝光尺寸：2300mm×1300mm
◆曝光方式：平行光曝光
◆曝光控制：大尺寸卷对卷曝光机智慧型人机界面及曝光能量控制
◆有效曝光幅宽:1300mm
◆有效距离：2600mm
◆曝光均匀性：≥90%（均匀性计算：小值/大值*100）
◆曝光解析度: 10um
◆曝光精度：大尺寸卷对卷曝光机线路宽5-15μm，线间距25μm
◆平行半角：DA＜2度